8寸立式合金炉管设备
功能
技术参数

Bhadra™立式低温合金炉BLA200

功能

主要应用于8英寸中低温合金工艺,低温条件下通入惰性气体,释放各层间的应力,形成良好的层间接触面,降低层间接触面电阻,工艺过程中可以实现高度自动化。

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技术参数

晶圆尺寸:8英寸

工艺类型:合金、PI固化

适用材料:硅

应用领域:功率半导体、集成电路、科研

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