2021 年前
半导体设备市场调研
完成第三代半导体芯片制程设备研发及验证
完成陶瓷基板钎焊设备研发并量产
拉普拉斯集团全资子公司——拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司成立
碳化硅高温激活,高温氧化设备量产
8英寸硅基半导体设备研发(立式氧化炉、退火炉、LPCVD炉)
2021 年
2022 年
8英寸硅基半导体设备完成验证
完成陶瓷基板烧结设备研发并量产
8英寸硅基半导体设备量产
12英寸硅基半导体设备研发/验证
2023 年
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发展历程
发展历程
DEVELOPMENT HISTORY