12寸立式氧化退火炉管设备
功能
技术参数
技术参数
晶圆尺寸：12英寸
工艺类型：氧化、退火、LPCVD(SiN/POLY/TEOS/HTO)
适用材料：硅
应用领域：功率半导体、集成电路、衬底材料、科研
