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Bhadra™立式高温退火炉HBA150
功能
1.激活掺入的杂质原子2.刻蚀工艺后沟槽平滑
或电话联系:
86-18924169069 / 020-31569374
技术参数
适配晶圆尺寸:4,6寸适用衬底材料:碳化硅适用领域:功率半导体、衬底材料、科研
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